RUSSIAN

Технология тонких пленок

By С.В. Антоненко

Book information

Publisher
МИФИ
Year
2008
ISBN
978-5-7262-1036-0
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1692956 bytes)
Pages
104\104
Time added
2012-03-07 16:50:00
Физика;Физика твердого тела;Физика поверхности и т

Description

Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.

Similar books