Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц

Description

Новосибирск: Наука, 2014. — 248 с. ISBN 978-5-02-019252-2Воздействие мощных пучков заряженных частиц и концентрированных потоков плазмы на твердое тело сопровождается фазовыми превращениями первого рода и интенсивной эмиссией атомов с его поверхности. Монография является систематическим изложением созданной авторами модели тепловой эрозии поверхности при таких условиях. Представлены данные о свойствах этого процесса, полученные на примере металлов, в зависимости от параметров импульсных и остросфокусированных сканирующих пучков заряженных частиц, коллективное действие которых создает эффект нелинейного роста скорости эрозии с увеличением плотности тока. Исследованы закономерности усиления эмиссии атомов с поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем. Разработаны методики расчета интенсивности удаления вещества с облучаемой поверхности и определения оптимальных параметров технологической обработки материалов, основанной на использовании мощных пучков заряженных частиц.Книга рассчитана на специалистов в области радиационной физики твердого тела, воздействия мощных импульсных пучков заряженных частиц на вещество и плазменной обработки материалов.