RUSSIAN

Ионно-лучевые методы получения тонких пленок

By Петухов В.Ю. , Гумаров Г.Г.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (2420670 bytes)
Pages
\87
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика твердого тела;Физика поверхности и т

Description

Учебно-методическое пособие для студентов физического факультета. Казань, 2010, 87с. Издание 2-е, исправленное и дополненное.Методическое пособие предназначено для студентов четвертого курса, приступивших к изучению спецкурса Физика поверхности и тонких пленок. Во введении содержатся краткие сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрены также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрены принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном токе и с использованием ВЧ-распыления, и ионно-лучевому синтезу. Далее приведено описание лабораторных работ и порядок их выполнения.

Similar books