Основы конструирования интегральных микросхем

Description

Учебник для студентов вузов. – Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм. ун-та, 2013. – 270 с. ISBN 978-5-7883-0925-5Рассмотрены основные аспекты возникновения и развития микроэлектроники. Даётся представление об уровне современной микроэлектроники, её методах, средствах, проблемах и перспективах. Обосновывается выбор материалов и конструкций тонкоплёночных, толстоплёночных, гибридных и полупроводниковых интегральных микросхем. Рассмотрены методы проектирования и расчёта конструктивных параметров элементов с учётом их электрических, технологических и эксплуатационных характеристик; основное внимание уделено вероятностному методу расчёта. Материал учебника представлен в виде модулей, заканчивающихся контрольными вопросами. Последовательность изложения максимально приближена к структуре выполняемого студентами курсового проекта. Учебник предназначен для студентов, обучающихся по направлению 211000.62 «Проектирование и технология электронных средств». Он может быть полезен широкому кругу специалистов, связанных с созданием и эксплуатацией радиоэлектронной аппаратуры на ИМС.Содержание Введение Эволюция в проектировании РЭС Основные этапы микроминиатюризации РЭС Основные задачи микроэлектроники Основные трудности микроминиатюризации Гибридные интегральные микросхемы Общие сведения о гибридных интегральных микросхемах Конструктивно-технологические особенности техпроцессов, используемых при изготовлении ГИМС Возможности дальнейшей микроминиатюризации РЭС Конструирование гибридных интегральных микросхем Подложки для ИМС Материалы для получения тонких пленок Конструирование и расчет тонкопленочных резисторов (ТПР) Конструирование и расчет тонкопленочных конденсаторов (ТПК) Конструирование и расчет пленочных катушек индуктивности Разработка ГИС и оформление конструкторской и технологической документации Проектирование топологии и конструкции ГИМС Разработка конструкторской документации на ГИМС Разработка технологической документации на ГИМС Классификация микросхем RC-цепи с распределенными параметрами Конструирование и расчет полупроводниковых ИМС Особенности конструкций ГИС СВЧ Тепловые режимы ГИС Надёжность микроэлектронной аппаратуры Перспективы развития микроэлектроники Заключение Список рекомендуемой литературы Приложения