RUSSIAN

Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства: учебное пособие

By Сибирский федеральный университет , П. С. Маринушкин , А. А. Левицкий , [Институт инженерной физики и радиоэлектроники] , С. И. Трегубов ; ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

Book information

Publisher
СФУ
Year
2020
ISBN
9785763842630
Language
russian
Format
PDF
Filesize
8 MB (8092440 bytes)
Pages
66 с.\69
Time added
2021-02-23 14:25:44

Description

А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, С. И. Трегубов. Приборно-технологическое моделирование устройств микро-и наноэлектроники. Математические модели и программные средства: учебное пособие ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ 1. ОСНОВНЫЕ УРАВНЕНИЯ МОДЕЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ 1.1. Модели динамики электронов в полупроводниках 1.2. Описание электромагнитных процессов в полупроводниках 1.3. Диффузионно-дрейфовая и гидродинамическая модели 1.4. Одномерная численная модель однородной полупроводниковой структуры 2. МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ 2.1. Модель диффузии примесей в полупроводник 2.2. Модель окисления полупроводника 2.3. Модель ионной имплантации 3. СИСТЕМЫ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ 3.1. Synopsys Sentaurus TCAD 3.2. Silvaco TCAD 3.3. Devsim 3.4. MicroTec 3.5. Модуль Semiconductor системы COMSOL Multiphysics ЗАКЛЮЧЕНИЕ БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

Similar books