RUSSIAN

Плазменные покрытия (методы и оборудование): Учебное пособие

By Соловьев А.А. , Кривобоков В.П. , Сочугов Н.С.

Book information

Publisher
ЭБС Лань
Year
2011
ISBN
5982981915, 5982981923
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1973294 bytes)
Pages
\104
Time added
2022-11-21 19:55:18

Description

Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами.

Similar books