RUSSIAN

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие

By Соловьев А.А. , Кривобоков В.П. , Сочугов Н.С.

Book information

Publisher
Томский политехнический университет
Year
2008
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (2121194 bytes)
Pages
136\136
Time added
2017-04-20 00:00:00
Физика;Прикладная физика

Description

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.;Гриф:Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета

Similar books