RUSSIAN

Плазменные покрытия (свойства и применение): Учебное пособие

By Соловьев А.А. , Кривобоков В.П. , Сочугов Н.С.

Book information

Publisher
ЭБС Лань
Year
2008
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1822446 bytes)
Pages
\136
Time added
2022-10-18 12:42:40

Description

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.

Similar books