RUSSIAN

Нетрадиционные средства вакуумной откачки

By Саксаганский Г.Л.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
20 MB (21241447 bytes)
Pages
\22
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Вакуумная техника

Description

Криогенное и вакуумное машиностроение. ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1990.Центральный институт научно-технической информации и технико-экономических исследований по химическому и нефтяному машиностроению.Обзорная информация.В обзоре рассматриваются новые концепции вакуумирования приборов и установок, основанные на взаимодействии быстрых атомов, ионных и электронных пучков, плазменных потоков и электромагнитного излучения с веществом в различном фазовом состоянии.Обзор предназначен для специалистов в области криогенной н вакуумной техники.Обзор составлен по опубликованным отечественным и зарубежным.материалам и патентам.Содержание.Внедрение быстрых газовых частиц в конденсированные среды.Отражение ионов и вторично-эмиссионные процессы.Ионное распыление приемных пластин.Имплантационные средства откачки частиц с конденсированными средами.Литература.

Similar books