Нераспыляемые плазмонапыленные газопоглотители. Свойства. Технология. Оборудование. Применение
Book information
Description
Монография, Саратов:. Изд-во Сарат. ун-та, 1996.— 200 с. ISBN 5-292-01554-7 В монографии приведены общие сведения о нераспыляемых газопоглотителях, рассмотрена их классификация. Особое внимание уделено особенностям формирования и свойствам плазмонапыленных газопоглощающих покрытий. Показано их преимущество перед другими геттерами и перспективы применения. Подробно изложена методика и описана аппаратура для исследования физикомеханических и сорбционно-десорбционных свойств газопоглощающих покрытий. Рассмотрена их взаимосвязь с технологическими режимами напыления. Изложены элементы теории и математического моделирования простых композиционных и дискретных геттерных структур газопоглотителей. Приведены рекомендации по разработке оптимальных технологических процессов плазменного напыления газопоглощающих покрытий, в том числе по их составу. Описано современное оборудование для плазменного напыления газопоглотителей и направления его совершенствования. Рассмотрены примеры применения плазмонапыленных газопоглотителей в изделиях электронной техники и электрофизической аппаратуре.