RUSSIAN

Технология СБИС: В 2-х кн

By К.Пирс , А.Адамс , Л.Кац , Дж.Цай , Т.Сейдел , Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.

Book information

Publisher
Мир Редакция литературы по новой технике
Year
1986
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
5 MB (5680463 bytes)
Volume
Кн. 1
Pages
201\201
Library
homelab SpecialStorage
Time added
2014-10-05 02:30:00

Description

Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Similar books

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU