RUSSIAN

Технология СБИС: В 2-х кн

By К.Пирс , А.Адамс , Л.Кац , Дж.Цай , Т.Сейдел , Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.

Book information

Publisher
Мир Редакция литературы по новой технике
Year
1986
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
4 MB (4669904 bytes)
Volume
Кн. 1
Pages
201\201
Library
homelab SpecialStorage
Time added
2009-07-20 03:45:11
Приборостроение;Схемотехника

Description

Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Similar books