Моделирование поверхностных свойств полупроводников: Учебно-методические материалы к лекциям и практическим занятиям

Description

Настоящее пособие является продолжением учебно-методических материалов по физике полупроводников, в котором рассмотрены объемные свойства полупроводниковых материалов и методы их исследования. В пособии рассмотрена классификация поверхностных электронных состояний, дано введение в феноменологическую теорию поверхности и описание основных поверхностных свойств полупроводников. Особое внимание уделено моделированию важнейших электрофизических характеристик приповерхностной области пространственного заряда полупроводника, так как именно эти характеристики определяют рабочие параметры МДП-транзисторов и других полевых полупроводниковых приборов, активно действующей областью которых является приповерхностная область полупроводника. Материалы учебного пособия подготовлены для самостоятельных и практических занятий по курсу ''Физика полупроводников'', который читается для студентов 3 курса, обучающихся по специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', однако могут представлять интерес и для студентов других физических специальностей