RUSSIAN

Наклонная ионная имплантация: Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике''

By ред. , Петров Б.К. , Бормонтов Е.Н. , Быкадорова Г.В. , Григорьев Р.Г. , Науч.

Book information

Publisher
Изд-во ВГУ
Year
2003
Language
russian
Format
PDF
Filesize
257 kB (263318 bytes)
Pages
31\31
Library
http://window.edu.ru/
Time added
2011-04-06 12:16:06
Приборостроение;Физические основы электроники (ФОЭ

Description

Практикум по спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике'' подготовлен на кафедре физика полупроводников микроэлектроники Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'')

Similar books