GERMAN

Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

By Prof. Dr.-Ing Manfred Kasper (auth.)

Book information

Publisher
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Year
2000
ISBN
978-3-540-66497-0, 978-3-642-57123-7
DOI
10.1007/978-3-642-57123-7
Language
german
Format
PDF
Filesize
12 MB (12290611 bytes)
Edition
1
Pages
382\396
Orientation
yes
Scanned
yes
Time added
2013-08-01 04:00:00
Electronics and MicroelectronicsInstrumentation; Nanotechnology

Description

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.

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