Konzepte siliziumbasierter MOS-Bauelemente

Description

Unter den Konzepten für siliziumbasierte MOS-Bauelemente finden sich neben dem klassischen Lateralkonzept Vertikal- und Quasivertikalkonzepte. Das Buch widmet sich der Erörterung der (quasi)vertikalen MOS-Bauelementkonzepte für Logikanwendungen (CMOS), Speicheranwendungen (DRAM, SRAM, EEPROM) und leistungselektronische Anwendungen. Der Autor stützt sich auf ein umfängliches Quellenmaterial, das in den vergangenen 30 Jahren diskutiert wurde. Er beschreibt, wie die einzelnen Konzepte technologisch umgesetzt wurden und geht auf die Vor- und Nachteile der Konzepte ein. Er erläutert die Funktionsweise und Charakteristiken der elektronischen Bauelemente, die mit dem jeweiligen Konzept realisiert wurden, und untersucht die Relevanz, die (quasi)vertikale Konzepte für die siliziumbasierte MOS-Technologie erlangen können. Das Buch ist besonders geeignet für Ingenieure und Physiker, die sich mit neuartigen bzw. alternativen Bauelementarchitekturen und deren Entwicklung beschäftigen. Einleitung....Pages 1-24 Logik- und Speicherstrukturen und prinzipielles MOSFET-Verhalten....Pages 25-86 Konzepte der CMOS-Logik und HF-Technologie....Pages 87-270 Auf vertikalen bzw. quasivertikalen Transistoren basierende Speicher....Pages 271-336 Vertikal- und Quasivertikalkonzepte Siliziumbasierter Leistungs-MOSFETs....Pages 337-404