RUSSIAN

Оборудование заводов материалов электронной техники

By Пономарев В.Б.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
1 MB (1337338 bytes)
Pages
\97
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

Екатеринбург, 2007, 97 стр.Выбор материала конструкций.Характеристика технологических операций.Изготовление полупроводниковой пластины.Калибровка стали.Шлифовка базового и дополнительного срезов.Оборудование для резки слитков на пластины.Очистка пластин.Шлифование пластин.Крепление пластин.Полирование пластин.Фотолитографическая обработка пластин.Конвейерные термические установки.Установки для нанесения тонких пленок в вакууме.Ионно-лучевое нанесение пленок.Нанесение пленок ионным распылителем.Оборудование для электронно-лучевой обработки.Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы.Скрайбирование алмазным резцом.Лазерное оборудование в производстве ИС.Резка алмазными кругами.Вырезка круглых кристаллов.Монтаж кристаллов.Оборудование для герметизации интегральных микросхем.Промышленные роботы микроэлектроники.Общие тенденции совершенствования оборудования.

Similar books