RUSSIAN

Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования: Учебное пособие

By Асессоров В.В. , Быкадорова Г.В. , Гольдфарб В.А. , Кожевников В.А.

Book information

Publisher
Изд-во ВГУ
Year
2004
Language
russian
Format
PDF
Filesize
195 kB (199551 bytes)
Pages
23\23
Topic
Education
Library
http://window.edu.ru/
Time added
2011-04-06 12:16:06

Description

Пособие, посвященное изучению распределения внедренных примесей в монокристаллы с учетом эффекта каналирования, подготовлено на кафедре физики полупроводников микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности 014100 ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 4 и 5 курсов, обучающихся в бакалавриатуре и магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'')

Similar books