RUSSIAN

О влиянии подложки на формирование состава, структуры и твердости нитридных и боридных пленок, полученных методами ионного осаждения

By Игнатенко. П.И. , Терпий Д.Н. , Кляхина Н.А.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
619 kB (633407 bytes)
Pages
\7
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Вакуумная техника

Description

Статья. Опубликована в ЖТФ, 2009, том 79, вып. 7 с.101-107 Лит. -20 наим.Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии рассмотрено влияние материала подложки на структурно-фазовое состояние и твердость нитридных и боридных пленок. Утверждается, что степень этого влияния зависит от метода напыления, определяющего ту или иную энергию ионов, поступающих на подложку и их энергию связи с атомами подложки.

Similar books