RUSSIAN

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

By Данилин Б.С.

Book information

Publisher
Энергоатомиздат
Year
1989
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
5 MB (5229111 bytes)
Pages
\239
Time added
2016-11-27 18:35:24

Description

Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Similar books

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU