Магнетронные распылительные системы
Book information
Description
Рассматриваются принцип действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковом производстве и ряде других областей, в которых используются пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем проводящих, резистивных, сверхпроводящих, магнитных, диэлектрических, оптических и других пленок. Для специалистов, занимающихся разработкой и производством изделий электронной техники.
Similar books
Metallic films for triggering vacuum-arc plasma sources
Стационарные электрические разряды с испаряющимся в вакууме электродом
Зондовый метод диагностики плазмы
DJVU