RUSSIAN

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

By Дж.Р.Брюэр , Д.С.Гринич , Д.Р.Херриот , Р.К.Хендерсон , Дж.П.Балантайн , Ж.Тротель , Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова.

Book information

Publisher
Радио и связь
Year
1984
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
5 MB (5453580 bytes)
Pages
167\167
Library
homelab SpecialStorage
Time added
2014-10-05 02:30:00

Description

Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Similar books

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU