RUSSIAN

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

By Дж.Р.Брюэр , Д.С.Гринич , Д.Р.Херриот , Р.К.Хендерсон , Дж.П.Балантайн , Ж.Тротель , Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова.

Book information

Publisher
Радио и связь
Year
1984
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
4 MB (4514292 bytes)
Pages
167\167
Library
homelab SpecialStorage
Time added
2009-07-20 03:45:11
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Similar books