RUSSIAN

Основы фотолитографии

By Гудымович Е.Н. , Гавриленко Н.А.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
8 MB (7870437 bytes)
Pages
\182
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

Учебное пособие. - Томск, Издательство Томского университета, 2009, 182 с.Изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качества полученного рисунка, представлен большой объем справочных данных. Используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента.Для студентов и аспирантов университетов и вузов электронного направления, а также специалистов, работающих в областях полупроводникового материаловедения, разработки и изготовления полупроводниковых приборов.

Similar books