RUSSIAN

Статическое электричество в полупроводниковой промышленности

By ЗАЙЦЕВ А.А. , Овечкин Ю.А. , Каверзнев В.А.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
3 MB (3006378 bytes)
Pages
\113
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

М. : «Энергия», 1975. − 112 с.В книге рассмотрены процессы образования, накопления и рассеивания электростатических зарядов. Анализируются причины электризации и условия разрядов статического электричества в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты экспериментальных исследований воздействия электростатических разрядов на структуру и элементы конструкций полупроводниковых изделий. Рассмотрены методы электростатических измерений. Даны рекомендации по методам устранения причин электризации, снижения степени генерации и накопления электростатических зарядов. Приводятся методы защиты полупроводниковых изделий от разрядов статического электричества.Книга предназначена для специалистов, занимающихся производством и эксплуатацией полупроводниковых изделий и радиоэлектронной аппаратуры.

Similar books