Адгезионная способность пленок
Book information
Description
М.: Радио и связь., 1987. - 104 с.Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие иа границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой. Приводятся методы измерения адгезионной прочности: нормального отрыва, скрайбирования, отслаивания и др. Описывается технология нанесения пленок: термическое испарение в вакууме, катодное и магнетронное распыление, ионно-плазменный метод, лазерное и электронно-лучевое напыление. Предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой процессов нанесения пленок.
Similar books
Поглощение газов активными металлами
Технохимические процессы электровакуумного производства
Вакуумна техніка
Расчёт вакуумных систем
Нераспыляемые плазмонапыленные газопоглотители. Свойства. Технология. Оборудование. Применение
Физические основы вакуумной техники
Основы теплотехнического эксперимента и вакуумной техники