Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Нанесение пленок в вакууме

Book information

Publisher

Высшая Школа

Year

1989

ISBN

5-06-000308-6

Language

russian

Format

DJVU

Filesize

1 MB (1110091 bytes)

Volume

том 06.

Pages

114\114

Topic

Technique › Instrument

Library

Librus.ru

Time added

2009-10-15 16:43:54