RUSSIAN

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

By Грибов Б.Г. , Домрачев Г.А. , Жук Б.В. и др.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
47 MB (49316887 bytes)
Pages
\163
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Химия и химическая промышленность;Органическая хим

Description

М.: Наука, 1981. — 322 с. Монография отражает последние достижения одной из наиболее интересных областей применения металлоорганических соединении – получение пленок металлов, нитридов, карбидов, оксидов металлов и полупроводниковых материалов термическим разложением металлоорганических соединений. Рассмотрены теоретические основы процесса осаждения покрытий, особенности их структуры и морфологии, приводится технология получения пленок. Книга предназначена для научных сотрудников, работников различных отраслей промышленности , преподавателей, аспирантов и студентов вузов.

Similar books