RUSSIAN

Практикум по химии и технологии полупроводников

By Угай Я.А. (ред.) , Анохин В.З. , Гончаров Е.Г.

Book information

Year
1978
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
3 MB (3118648 bytes)
Pages
96\96
Library
mexmat
Time added
2009-07-20 03:45:11
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводни ков. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построена Р-Т-х-диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различны, методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полу проводниковых соединений, а также знакомит с основными технологическими опера циями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление).В каждой работе дано теоретическое введение, приводятся схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.

Similar books