RUSSIAN

Технологические процессы и оборудование производства электронных средств. Часть 1. Вакуумно-плазменные процессы и оборудование

By Сырчин В.К. , Зарянкин Н.М. , Виноградов А.И.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
33 MB (35098034 bytes)
Pages
\158
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Вакуумная техника

Description

Учеб. пособие. - М.: МИЭТ, 2011. - 168 с.: ISBN 978-5-7256-0630-0Изложены вопросы физики газовых разрядов, физико-химических процессов вгазоразрядной плазме и механизмов взаимодействия ионов и химически активных частиц,генерируемых в плазме, с поверхностью обрабатываемого материала. Представленныйматериал охватывает физико-химические процессы, на основе которых реализуютсятехнологические процессы в базовых видах технологического оборудования дляпроизводства приборов микро- и наноэлектроники, а также изделий микросистемнойтехники: нанесения и травления материалов в вакууме.Пособие содержит тот минимум знаний, который необходимо освоить студенту науровне общего представления о вакуумно-плазменных процессах и современномсерийном технологическом оборудовании.Предназначено для студентов направления 210100 «Электроника инаноэлектроника», изучающих дисциплину «Вакуумно-плазменные процессы иоборудование».

Similar books