Пористый кремний: технология, свойства, применение

Description

Моногр. / В.В. Трегулов ; Ряз. гос. ун-т им. С.А. Есенина. – Рязань, 2011. – 124 с.ISBN 978-5-88006-677-3Монография содержит обзор информационных источников и основ-ные сведения о пористом кремнии – перспективном материале современной микро- и наноэлектроники. Рассматриваются вопросы технологии из-готовления пористого кремния, его структурные свойства, люминесцентные и электрофизические характеристики, особенности применения при изготовлении полупроводниковых приборов, процессы пассивации слоев материала с целью стабилизации их характеристик. Приведенные данные достаточно полно отражают современный уровень научных представлений о пористом кремнии.Издание предназначено для специалистов по физике полупроводников, инженеров, технологов, аспирантов, студентов магистратуры, обучающихся по направлению «техническая физика».Оглавление Введение Технология изготовление пористого кремния и его структурные свойства Фотолюминесценция пористого кремния Электрофизические свойства пористого кремния Применение пористого кремния Светоизлучающие диоды на основе пористого кремния Фотоэлектрические преобразователи для солнечной энергетики Приборы СВЧ-диапазона Химические датчики на основе пористого кремния Заключение Список использованной литературы