RUSSIAN

Сборник практических работ по курсу Микроэлектромеханика

By Лысенко И.Е. , Полищук Е.В. , Хайрулина В.А.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
922 kB (944272 bytes)
Pages
\31
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Микро- и наносистемная техника

Description

Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с.В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией.Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычислительных средств, 210601 Нанотехнология в электронике и направлений 210100 Электроника и микроэлектроника, 210200 Проектирование и технология электронных средств, 210600 Нанотехнологии.

Similar books