RUSSIAN

Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете

By Сейсян Р.П.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
726 kB (743810 bytes)
Pages
\13
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

Обзор. Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия, 2004 г.Приводятся обзор и обоснование основных идей фотолитографии высокого разрешения в экстремально дальнем вакуумно-ультрафиолетовом диапазоне спектра электромагнитного излучения, разрабатываемых применительно к созданию интегральных схем сверхвысокого уровня интеграции, превосходящих современные ИС по интеграции на 1-2 порядка. Рассматриваются проблемы и современное состояние развития разработок в этой области.

Similar books