Физико-химические основы и технология получения тонких пленок резистивным напылением

Description

Владикавказ: Изд-во СОГУ, 2016. — 136 с. — ISBN 978-5-8336-0892-0Данное пособие предназначено для студентов, изучающих вакуумную технику и технологию полупроводниковых приборов.Цель, которую поставили перед собой авторы, состоит в том, чтобы в доступной форме обобщить материал, который накоплен в различных литературных источниках за большой временной период. Авторы сделали попытку взять лучшее из учебников советских времен и из современных изданий и, опираясь на свой практический опыт, изложить материал таким образом, чтобы заинтересовать студентов данной тематикой. Учебно-методическое пособие ставит перед собой цель дать ответы на многие вопросы, которые неизбежно возникают у человека, только начавшего работать с вакуумной техникой. Из множества различных способов вакуумного напыления было решено остановиться на резистивном способе, как самом доступном при проведении экспериментов и лабораторных практикумов. Изложенные теоретические основы вакуумной техники, методы контроля вакуума, способы очистки подложек и многое другое одинаково применимы и к другим способам напыления функциональных покрытий в вакууме.