RUSSIAN

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

By Луфт Б.Д. , Перевощиков В.А. , Возмилова Л.Н. , Свердлин И.А. , Марин К.Г.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
5 MB (5717922 bytes)
Pages
\138
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Полупроводниковые приборы

Description

М.: Радио и связь, 1982. — 137 с.Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимического, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.

Similar books