RUSSIAN

Лазерная термометрия твердых тел

By Магунов А.Н.

Book information

Publisher
ФМЛ
Year
2001
ISBN
5-9221-0222-2
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
2 MB (2243713 bytes)
Pages
223\223
Library
Kolxo3
DPI
600
Time added
2009-07-20 03:45:11
Физика;Общая и теоретическая физика

Description

Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.

Similar books