RUSSIAN

Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников

By Миз Джон

Book information

Publisher
Мир
Year
1982
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
4 MB (3797444 bytes)
Pages
\139
Time added
2016-10-11 13:30:07
Металлургия и обработка металлов;Металлургия;Цветн

Description

Книга содержит ряд докладов, прочитанных специалистами США и других стран на Второй международной конференции по НТЛ полупроводников и посвященных новой перспективной технологии введения легирующих примесей в полупроводники - трансмутационному легированию при облучении в реакторе. Рассмотрены физические основы трансмутационного легирования (ТЛ), вопросы радиационной безопасности, техника облучения, образование дефектов и их отжиг, электрофизические и структурные свойства трансмутационно легированного кремния и улучшение характеристик приборов. Для специалистов в области радиационной физики твердого тела, полупроводниковой технологии, реакторной физики и техники.

Similar books