RUSSIAN

МЭМС-гироскопы - единство выбора

By Шахнович И.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
935 kB (957366 bytes)
Pages
\9
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Автоматизация;Технические средства автоматизации (

Description

Статья. Опубликована в в журнале Электроника: наука, технология, бизнес. – 20071, №1. – С.76-85.Статья посвящена принципам работы гироскопических приборов построенных по технологии МЭМС. Дан краткий обзор продукции основных производителей данного класса устройств. Сфера применения миниатюрных гироскопов уже сегодня чрезвычайно широка – от авионики и автомобильной электроники до цифровых автоматических систем для измерения угловой скорости. Большинство миниатюрных гироскопов представляют собой микроэлектромеханические системы (МЭМС), которые изготавливают по технологиям, близким к СБИС.Содержание:Принцип действия.Балочные гироскопы.Гироскопы-камертоны.Гироскопы Analog Devices по те хнологии iMEMS.Гироскопы с диском-вибратором.Вращательные вибрационные микрогироскопы.Литература.

Similar books