RUSSIAN

Фотолитография

By Батурин И.С.

Book information

Language
russian
Format
RAR
Filesize
25 MB (26437943 bytes)
Pages
\0
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Учебно-методический комплекс. - Екатеринбург, УрГУ им. А. М. Горького, 2008.Учебно-методические комплекс предназначен для студентов, изучающих специальную дисциплину «Фотолитография», и призваны помочь успешному освоению материала курса и достижению основной его цели – ознакомление с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.Учебно-методический комплекс состоит из 5 файлов:Вопросы для самоконтроляПрезентация курса лекцийЭкзаменационные материалыМетодические указанияПрограмма дисциплины.

Similar books