Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем

Description

Конспект лекций по дисциплине. — М.: МИЭТ, 2011. — 172 с. — ISBN 978-5-7256-0652-2Рассмотрены электрохимические и химические процессы модифицирования поверхности и нанесения покрытий в технологии создания наноструктур. Особое внимание уделено процессам анодного окисления и растворения и катодного осаждения материалов, формирования пористых наноструктур. Отдельная лекция посвящена химическому методу формирования полупроводниковых соединений из водных растворов. Представлены различные способы применения низкотемпературных процессов в технологии формирования полупроводниковых структур.Разработан для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлениюдеятельности ННС «Наноэлектроника».Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 150100 «Материаловедение и технология материалов».СодержаниеПредисловиеПредмет электрохимии. Основные понятия и определения. Электролитическая диссоциацияЭлектропроводность растворов электролитов. Механизм образования ЭДС и природа электродного потенциалаДвойной электрический слой вблизи поверхности металлического электрода и его строение.Термодинамическое выражение для равновесного электродного потенциалаОсновные принципы кинетики электродных процессовОсновные принципы кинетики электродных процессов (продолжение)Полупроводниковые электроды в электрохимических процессахЭнергетические характеристики ячейки с полупроводниковым электродомПроцессы анодного растворения в технологии микро- и наноструктур. Анодное растворениеполупроводниковАнодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур.Анодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур (продолжение)Закономерности образования барьерных анодных оксидов на поверхности металлови полупроводниковЗакономерности образования пористых анодных оксидовЗакономерности образования пористых анодных оксидов (продолжение)Катодное осаждение в технологии микро- и наноструктурКатодное осаждение сплавов в технологии соединения элементов микросистемМатричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристалловФормирование сверхтонких слоев полупроводниковых соединений методоммолекулярного наслаиванияЗаключениеЛитература