GERMAN

Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs

By Frank Schröder-Oeynhausen (auth.)

Book information

Publisher
Deutscher Universitätsverlag
Year
1997
ISBN
978-3-8244-2091-9, 978-3-322-95365-0
DOI
10.1007/978-3-322-95365-0
Language
german
Format
PDF
Filesize
4 MB (4229036 bytes)
Edition
1
Pages
138\136
Time added
2013-12-12 02:00:00
generalInstrumentation; Economics/Management ScienceSemiconductors; Solid State Physics; Electronics a

Description

Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.

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