RUSSIAN

Фото-, электроно- и рентгенорезисты

By Боков Юрий Сергеевич

Book information

Publisher
Радио и связь
Year
1982
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
1 MB (1346585 bytes)
Series
Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры
Pages
68\68
Library
homelab SpecialStorage
Time added
2009-07-20 03:45:11

Description

Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.

Similar books

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU