Конструирование и расчет вакуумных систем

Description

В книге освещаются вопросы конструирования и расчета вакуумных систем и их элементов, получения и измерения высокого и сверхвысокого вакуума. Приводится большой справочный материал, необходимый для расчета газовых потоков в вакуумных системах. Книга рассчитана на широкий круг инженерно-технических работников заводов и конструкторских бюро, связанных как с конструированием и эксплуатацией оборудования для производства ЭВП, так и с вакуумными установками общего назначения. Предисловие Часть первая. Вакуумные системы и их элементы Глава первая. Технологический процесс откачки и обезгаживания электровакуумных приборов 1-1. Основные этапы процесса откачки и обезгаживания электровакуумных приборов 1-2. Основные требования, предъявляемые к вакуумным системам оборудования для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов Глава вторая. Принципы построения вакуумных систем откачного оборудования 2-1. Вакуумные системы с давлением больше 5-10~7 мм рт. ст 2-2. Вакуумные системы с давлением меньше 5-10~7 мм рт. ст 2-3. Вакуумные системы карусельных и конвейерных откачных машин 2-4. Централизованная форвакуумная система Глава третья. Элементы вакуумных систем 3-1. Разборные вакуумные соединения 3-2. Элементы соединений вакуумных трубопроводов 3-3. Откачные гнезда 3-4. Электрические вакуумные вводы 3-5. Смотровые окна 3-6. Устройства для передачи движения в вакуумный объем 3-7. Трение в вакууме 3-8. Расчёт герметизирующих гибких элементов Глава четвертая. Коммутационная аппаратура вакуумных систем 4-1. Основные требования, предъявляемые к коммутационной аппаратуре 4-2. Коммутационная аппаратура вакуумных систем с давлением больше 5 10—7 мм рт. ст 4-3. Коммутационная аппаратура вакуумных систем с давлением меньше 5«10~7 мм рт. ст 4-4. Блочное исполнение вакуумных коммутирующих элементов 4-5. Устройства аварийного перекрытия трубопроводов 4-6. Золотники 4-7. Натекатели Глава пятая. Вакуумные насосы 5-1. Классификация и основные параметры вакуумных насосов 5-2. Водокольцевые насосы 5-3. Механические вакуумные насосы с масляным уплотнением 5-4. Двухроторные вакуумные насосы 5-5. Эжекторные насосы 5-6. Молекулярные насосы 5-7. Пароструйные высоковакуумные насосы 5-8. Вспомогательные (бустерные) насосы 5-9. Адсорбционные насосы 5-10. Насосы с термическим распылением титана 5-11. Электроразрядные магнитные насосы 5-12. Конденсационные (криогенные) насосы Глава шестая. Ловушки 6-1. Основные требования, предъявляемые к ловушкам 6-2. Ловушки без адсорбента 6-3. Адсорбционные ловушки 6-4. Термосорбционные ловушки 6-5. Электрические ловушки Глава седьмая. Аппаратура для измерения давления разреженного газа 7-1. Классификация приборов для измерения давления 7-2. Компрессионные вакуумметры 7-3. Деформационные вакуумметры 7-4. Теплоэлектрические вакуумметры 7-5. Магнитные электроразрядные вакуумметры 7-6. Радиоизотопные ионизационные вакуумметры 7-7. Электронные ионизационные вакуумметры Глава восьмая. Высоковакуумные газоанализаторы 8-1. Классификация газоанализаторов 8-2. Спектр масс и его расшифровка 8-3. Статические масс-спектрометры с разделением ионов в магнитном поле 8-4. Циклоидальный масс-спектрометр (трохотрон) 8-5. Времяпролетный масс-спектрометр (хронотрон) 8-6. Резонансный радиочастотный масс-спектрометр (омегатрон) 8-7. Квадрупольный и монополярный масс-спектрометры 8-8. Радиочастотный масс-спектрометр (фарвитрон) 8-9. Радиочастотный масс-спектрометр (топатрон) 8-10. Десорбционный спектрометр Часть вторая. Расчёт вакуумных систем Глава девятая. Постановка задачи и основные определения вакуумной техники 9-1. Постановка задачи 9-2. Основные понятия кинетической теории газов 9-3. Режимы течения газа 9-4. Основные определения вакуумной техники Глава десятая. Пропускная способность трубопроводов 10-1. Молекулярный режим течения газа 10-2. Вязкостный режим течения газа 10-3. Молекулярно-вязкостный режим течения газа 10-4. Турбулентный режим течения газа Глава одиннадцатая. Расчёт пропускной способности сложного трубопровода при молекулярном режиме течения газа по методу статистических испытаний (метод Монте-Карло) 11-1. Расчёт пропускной способности трубопровода по методу статистических испытаний 11-2. Упрощённый метод статистических испытаний 11-3. Пример расчёта пропускной способности вентиля по упрощённому методу статистических испытаний Глава двенадцатая. Расчёт длительности откачки 12-1. Квазистационарный режим течения газа 12-2. Длительность откачки вакуумной системы при турбулентном режиме течения газа 12-3. Длительность откачки вакуумной системы при вязкостном режиме течения газа 12-4. Длительность откачки вакуумной системы при молекулярно-вязкостном режиме течения газа 12-5. Длительность откачки вакуумной системы при постоянном газовыделении 12-6. Длительность откачки при молекулярном режиме течения газа с учётом изменения скорости газовыделения деталей и стенок вакуумной системы Глава тринадцатая. Коэффициенты диффузии, растворимость, проницаемость, газосодержание Глава четырнадцатая. Согласование насосов, работающих последовательно Глава пятнадцатая. Расчёт вакуумной системы сверх-высоковакуумной безмасляной установки отжига 15-1. Проектный расчёт 15-2. Поверочный расчёт Глава шестнадцатая. Расчёт централизованной форвакуумной системы Глава семнадцатая. Выбор параметров сложной вакуумной системы методом аналогового моделирования Приложения Литература