RUSSIAN

Дефекты в кремнии и на его поверхности

By Вавилов , Киселев , Мукашев.

Book information

Publisher
Наука
Year
1990
ISBN
5-02-014023-6
Open Library ID
OL1633810M
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
3 MB (3081728 bytes)
Series
Физика полупроводников и полупроводниковых приборов, ФПИПП
Pages
108\108
Topic
Technique
Library
Kolxo3
DPI
300
Time added
2009-07-20 03:45:11

Description

Рассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Similar books