Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей

Description

Рассмотрены физические принципы получения, фокусировки и транспортировки многоамперных ионных и атомных пучков. Описаны современные плазменные источники ионов водорода, дейтерия, инертных газов, тугоплавких элементов. Показаны достижения и перспективы создания пучков атомов дейтерия мощностью от единиц до сотен мегаватт. Изложены основные закономерности процесса ионного (катодного)* распыления. Обобщен накопленный, опыт по разнообразным технологическим применениям потоков ионов: очистке поверхностей от загрязнений, ионной обработке, шлифовке, травлению, получению покрытий ионным распылением и осаждением различных элементов и химических соединений. Указываются перспективы ионного легирования сталей и повышения их физико-химических свойств, ионного микроанализа поверхностей, получения сложных профилей с субмикронными размерами с целью более широкого использования ионных потоков и пучков в промышленности, научных исследованиях и разработках.Для научных работников, инженеров, технологов, работающих в области технической физики, термоядерных и электрофизических исследований, металлофизики, а также преподавателей, аспирантов и студентов вузов соответствующих специальностей.