RUSSIAN

Лазерные технологии в электронном машиностроении

By Малышев К.В. , Шиганов И.Н.

Book information

Publisher
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Year
2008
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1834688 bytes)
Pages
24\24
Time added
2017-04-20 00:00:00
Инженерно-технические науки;Оптотехника

Description

Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обра- ботки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».;Гриф:Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия

Similar books