RUSSIAN

Введение в нанометрологию

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
6 MB (6259623 bytes)
Pages
\296
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42

Description

Учебное пособие. - Владимир, ВлГУ, 2010. – 296 с.Пособие содержит основные сведения по метрологическому обеспечению различных технологических операций в сфере наноиндустрии. Рассмотрены становление в XX – XXI вв. и концепции развития нанометрологии. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям – поверке и калибровке сканирующей зондовой микроскопии. Изложены организационные принципы нанометрологии в России. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и основные направления их исследований в данной области. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих вопросы нанотехнологии, а также может быть полезно инженерно-техническим работникам, связанным с проблемами наноиндустрии.

Similar books