Glow discharge processes. Sputtering and plasma etching
Book information
Description
Wiley, New York, 1980, 406 c.Книга содержит следующие разделы:ГазыПроцессы столкновений в газовой фазеПлазмаТлеющие разряды постоянного токаВЧ разрядыРаспылениеПлазменное травление
Similar books
Metallic films for triggering vacuum-arc plasma sources
Стационарные электрические разряды с испаряющимся в вакууме электродом
Зондовый метод диагностики плазмы
DJVU
Холловский торцевой ускоритель плазмы с холодным катодом
Экспериментальное исследование процессов вакуумно-дугового испарения и ионизации вещества (гадолиния), моделирующего уран, для разработки технологии плазменной сепарации отработавшего ядерного топлива
Введение в плазменные технологии и водородную энергетику
Физико-химические процессы в низкотемпературной плазме (основы плазмохимии)
