Современные проблемы микро- и наноэлектроники

Description

Г. Н. Шелованова. Современные проблемы микро- и наноэлектроники: учебное пособие......Page 2 ОГЛАВЛЕНИЕ......Page 125 ВВЕДЕНИЕ......Page 4 1.1. Физические, химические свойства......Page 7 1.2.1. Кремний полупроводникового качества......Page 10 1.2.3. Карбид кремния и его политипы......Page 11 1.2.4. Твердые растворы SiGe......Page 13 1.3. Низкоразмерные кремниевые структуры......Page 18 1.3.1. Эффективная люминесценция ионов эрбия в системах кремниевых нанокристаллов......Page 20 1.3.2. Фотолюминесцентные и электронные свойства пленок нанокристаллического кремния, легированного золотом......Page 21 1.4.1. Наноалмаз в пористом кремнии......Page 22 1.4.2. Ферромагнитные нити в пористом кремнии......Page 23 1.5. Аморфный гидрогенизированный кремний......Page 24 1.6. Перспективы применения полупроводниковых материалов IV группы......Page 25 2.1.1. Выращивание монокристаллов......Page 29 2.1.2. Методы получения пленок соединений AIIBVI......Page 34 2.2.1. Гетероструктура ZnTe–GaN......Page 39 2.2.2. Новые материалы на основе нанопорошков соединений АIIВVI......Page 41 3.1. Технология SIMOX......Page 43 3.2. Технология ELTRAN и BESOI......Page 44 3.3. Технология Smart Cut......Page 48 3.4. Технология Dele Cut......Page 50 3.5. Кремний на сапфире......Page 51 4.1. Технология объемной микрообработки......Page 54 4.2. LIGA-технология......Page 58 4.3. Технология поверхностной микрообработки......Page 59 4.4. MUMPs-технология......Page 60 4.5. Применение МЭМС......Page 62 5.1. Технология формирования гетероструктур......Page 67 5.2. Электролюминесцентные свойства гетероструктур InGaAlP/GaP, InGaAlP/Al2O3, InGaN/Al2O3......Page 70 5.3. Светодиоды на основе гетероструктур InGaAlP/GaP, InGaAlP/Al2O3, InGaN/Al2O3......Page 71 5.4. Достижения в создании светодиодов......Page 75 6.1. Получение алмазных пленок......Page 78 6.1.1. Химическое осаждение алмазов из газовой фазы......Page 79 6.1.2. Детонационный синтез ультрадисперсных алмазов из твердых взрывчатых веществ......Page 81 6.2. Свойства алмазных пленок......Page 82 6.3.1. Алмазные теплоотводы......Page 85 6.3.2. Алмазные диоды и транзисторы......Page 86 6.3.3. Композиционные материалы на основе алмаза......Page 87 6.3.4. Инфракрасные окна для лазеров......Page 89 7.1. Актуальность исследований в области органических полупроводников......Page 91 7.2. Основные свойства органических полупроводников......Page 92 7.2.2. Фотопроводимость органических полупроводников......Page 93 7.2.3. Оптические свойства органических полупроводников......Page 94 7.2.4. Сверхпроводимость органических полупроводников......Page 95 7.2.5. Жидкокристаллические свойства органических полупроводников......Page 96 7.3. Получение органических полупроводников......Page 97 7.4.1. Динамика развития органоэлектроники......Page 100 7.4.2. Жидкокристаллические дисплеи......Page 103 7.4.3. Диодные структуры на основе органических полупроводников......Page 106 7.4.4. Органические транзисторы......Page 108 7.4.5. Органические батареи......Page 109 7.4.6. Солнечные элементы на основе органических полупроводниковых материалов......Page 111 ЗАКЛЮЧЕНИЕ......Page 117 БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК......Page 119