Исследование явления запаздывания зажигания высоковольтного тлеющего разряда для повышения рабочего давления газоразрядных электронных пушек

Description

Статья. Опубликована в Доповідi Національної академiї наук України, 2008, №11, с.86-91В последнее десятилетие ЭЛТ начинают использовать в среднем и низком вакууме для получения покрытий в среде реакционного газа, выращивания кристаллов, накачки лазеров, модификации поверхности и ряда других. При этом получение электронных пучков осуществляется в высоком вакууме, а их использование в низком. Существующие электронные пушки работают при давлениях до 10 Па и не позволяют реализовывать ЭЛТ в среднем и низком вакууме без использования специальных устройств вывода электронных пучков в технологическую камеру. Перспективным направлением решения проблемы является создание низковакуумных газоразрядных электронных пушек (НГЭП) на основе высоковольтного тлеющего разряда (ВТР) для работы в диапазоне давлений 10–1000 Па. Импульсный режим работы НГЭП, имеет свои специфические особенности, которые предлагается использовать для решения поставленной проблемы. Целью работы является установление новых закономерностей при работе НГЭП на осно- ве ВТР в импульсном режиме и использование их для повышения рабочего давления.